真空等離子清洗機(jī)體系由反響腔室（真空腔體）、高頻等離子電源和真空泵組（抽真空體系）、充氣體系及自動操控體系（觸摸電腦+PLC多步流程全自動操控,全電路檢測）等部分組成，等離子體是物質(zhì)的一種存在狀況，也叫第四種狀況（通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀況存在），如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。
真空等離子清洗體系就是使用高壓電源在一定的壓力條件下對氣體施加滿足的能量，然后產(chǎn)生等離子體，等離子體狀況中存在下列物質(zhì)：處于高速運(yùn)動狀況的電子；處于激活狀況的中性原子、分子、原子團(tuán)（自由基）；離子化的原子、分子；未反響的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍堅持電中性狀況。等離子體在電磁場的效果下高速運(yùn)動，沖擊物體外表，起到清洗、刻蝕、活化、改性的意圖。
等離子清洗機(jī)選用高自動化程度的數(shù)控技術(shù)，選用高精度的操控設(shè)備以確保時間的準(zhǔn)確操控，同時在真空中清洗，不會在外表產(chǎn)生損傷層，確保清洗外表不被二次污染，外表質(zhì)量得到確保。
等離子清洗體系在世界有三種通用頻率
40KHz、13.56MHz和2.45GHz，不同的頻率對工件的處理效果不同，如下分析：
激起頻率為40kHz的等離子體為超聲等離子體，其產(chǎn)生的反響為物理反響，使用于大腔體，特點是等離子能量高，可是等離子密度小，無需匹配，本錢較低。慣例是5千瓦至20千瓦。
激起頻率為13.56MHz的等離子體為射頻等離子體，其產(chǎn)生的反響既有物理反響又有化學(xué)反響；Z常用的電源，特點是等離子能量低，可是等離子密度高。效果均勻，而本錢稍高。慣例是100瓦至1000瓦。
激起頻率為2.45GHz的等離子體為微波等離子體，其產(chǎn)生的反響為化學(xué)反響本錢太高，目前使用較少
一、等離子清洗機(jī)效果
1、激活鍵能-交聯(lián)效果
等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因而等離子體效果到工件外表后，能夠使工件外表的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生開裂，等離子體中的自由基與這些鍵構(gòu)成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了外表活性。
2、對資料外表炮擊-物理效果
主要是使用等離子體里很多的離子、激起態(tài)分子、自由基等多種活性粒子作純物理的碰擊，把工件外表的原子或附著工件外表的原子打掉，不但清除了工件外表原有的污染物和雜質(zhì)，而且會產(chǎn)生刻蝕效果，將工件外表變粗糙，構(gòu)成許多微細(xì)坑洼，增大了工件外表的比外表積，進(jìn)步固體外表的潮濕功能。因為離子在壓力較低時的均勻自由基較輕長，得到能量的累積，因而在物理碰擊時，離子的能量越高，越是有更多能量作碰擊，所以若要以物理效果為主時，就必須操控較低的壓力下來進(jìn)行反響，為了確保較低的壓力，需求繼續(xù)通入空氣或者其他氣體，這樣清洗效果較好
3、構(gòu)成新的官能團(tuán)--化學(xué)效果
化學(xué)效果其反響機(jī)理主要是使用等離子體里的自由基來與資料外表做化學(xué)反響，頻率和壓力較高時，對自由基的產(chǎn)生較有利，所以若要以化學(xué)反響為主時，就必須配備較高的頻率和較高的壓力來進(jìn)行反響。
在化學(xué)反響里常用的氣體有氫氣（H2）、氧氣（O2）、甲烷（CF4）等，這些氣體在等離子清洗機(jī)內(nèi)反響成高活性的自由基，引入反響性氣體，那么在活化的資料外表會產(chǎn)生復(fù)雜的化學(xué)反響，引入新的官能團(tuán)，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán)，能明顯進(jìn)步資料外表活性。
需求特別闡明的是，有一些工件處理既需求物理效果，也需求化學(xué)效果，這個時分應(yīng)該選用頻率是13.56MHz系列。
二、等離子清洗機(jī)的四大使用
1、清洗
工藝部件的外表經(jīng)過等離子束的物理炮擊而被清洗，其外表也能夠與特定氣體產(chǎn)生化學(xué)反響從而使被清洗污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出。
A使用：去除油脂、油、氧化物、纖維；去除硅氧樹脂；綁定、焊接、粘結(jié)前的預(yù)處理；金屬部件涂裝前的預(yù)處理。
B適用部件：簡直一切的資料都能使用等離子進(jìn)行精密清洗，典型的有電子元件；橡膠-金屬連接件；開關(guān)；傳感器；醫(yī)用植入件；微小部件；O型密封圈；螺旋；激光部件。
2、外表激活、改性
工件在等離子腔體內(nèi)能夠通入氧氣或者空氣對其外表進(jìn)行激活，資料外表會構(gòu)成氧原子團(tuán)，增強(qiáng)外表的粘結(jié)力、結(jié)合力。
A使用：粘接前的預(yù)處理；涂裝前的預(yù)處理；印刷前的預(yù)處理。
B適用部件：簡直一切資料都能經(jīng)過等離子被激活，典型有傳感器；半導(dǎo)體資料；導(dǎo)管；車大燈反射鏡；橡膠；鋁鍍膜；石墨膜；PDMS等。
3、蝕刻
工件外表被激起的等離子體蝕刻，經(jīng)過等離子濺射，炮擊，外表資料被剝離，轉(zhuǎn)變成氣相并被排出，資料外表的比外表積增大并濕潤，蝕刻效應(yīng)使用于印刷、粘接、涂裝前的預(yù)處理以及使資料粗糙化。
A使用：硅蝕刻；PTFE蝕刻；改善進(jìn)步耐高溫塑料關(guān)于涂料和粘結(jié)劑的附著性，如：PTFE,FPA,FEP；去除光刻膠。
B適用部件：塑料；半導(dǎo)體；玻璃；去除部件封裝；醫(yī)療器械；電路板。
4、涂層
工件被導(dǎo)入等離子反響腔，等離子使氣體原子化并使其沉淀在工件的外表。
A使用：疏水層的堆積；親水層的堆積；維護(hù)或絕緣層的堆積；防擴(kuò)散層。
B適用部件：一切的工業(yè)資料；典型的有金屬；玻璃；陶瓷
