探針臺是半導體行業(yè)重要的檢測裝備之一，其廣泛應(yīng)用于復雜、 高速器件的精密電氣測量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。

半導體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類：驗證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。除探針臺外，晶圓檢測環(huán)節(jié)還需要使用測試儀/機，測試儀/機用于檢測芯片功能和性能，探針臺實現(xiàn)被測芯片與測試機的連接，通過探針臺和測試機的配合使用，可以對晶圓上的裸芯片進行功能和電參數(shù)測試或射頻測試，可以對芯片的良品、不良品的進行篩選。

探針臺由哪些部分組成？

1.樣品臺（載物臺）

載物臺是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會根據(jù)晶圓的尺寸來設(shè)計大小，并配套了相應(yīng)的精密移動定位功能?？寺逯Z斯科技自主研發(fā)的超精密氣浮運動平臺就是作為定位晶圓或芯片的部件設(shè)備，重復定位精度達±50納米，可以依靠精密機械運作在極短的曝光時間內(nèi)完美定位，完成晶圓在量測端的極精密的檢測。

2.光學元件

這個部件的作用是能夠從視覺上放大觀察待測物，以便精確地將探針尖端對準并放置在待測晶圓/ 芯片的測量點上。

3.卡盤

有一個非常平坦的金屬表面，卡盤用夾具來固定待測物，或使用真空來吸附晶圓。

探針臺如何工作？

探針臺可以固定晶圓或芯片，并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針尖端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖端都被設(shè)置在正確的位置，就可以對待測物進行測試。

對于帶有多個芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開，然后將工作臺移到下一個芯片上，使用顯微鏡找到精確的位置，壓板降低后下一個芯片可以進行測試。半自動和全自動探針臺系統(tǒng)使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程，提高了探針臺生產(chǎn)率。

探針臺的作用是什么？

探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導體器件。

晶圓檢測是半導體制造中必不可少的步驟，選擇合適的晶圓探針臺和探針來進行晶圓檢測也很重要。克洛諾斯最新自主研發(fā)的超精密氣浮運動平臺具有極高精度和運動穩(wěn)定性，讓系統(tǒng)在快速運行時，能準確識別和測量出晶圓的種種缺陷，大大提高晶圓檢測效率。